隨著技術的整合,很多完整的系統功能已可集積在同一枚晶片上,控制整個系統功能的軟體,也可儲存在晶片上的記憶體裡,這種軟硬體終端應用結合在一起的晶片,統稱「系統單晶片」(system on a chip),簡稱SoC。早期英特爾的4004晶片可稱是SoC的始祖,是「晶片上的微電腦」,後來德儀發展了「晶片上的計算機」和「晶片上的電子錶」,1990年代,洛克威爾又有了「晶片上的數據機」。近年的系統單晶片又更複雜了:把CCD顯像技術和電腦功能結合在一起,產生了「晶片上的攝影機」;把無線電通訊與電腦結合,產生了「晶片上的手機」;將MEMS加速測示器、GPS接收器與電腦結合,產生了「晶片上的導航儀」。